尼康拒絕林本堅的浸沒式光刻機方案後,將希望寄託於 EUV 極紫外光技術,並啟動「全自研、全日本產」計畫。然而,此策略卻陷入閉門造車的困境,加上尼康因美國技術封鎖被排除在 EUV 聯盟之外,最終投入逾千億日元的 EUV 項目僅產出無法商用的原型機,被迫終止商業化開發。
2026 年初,日本百年光學巨頭尼康 (Nikon) 發布 2025 財年預虧 850 億日元,創史上最大虧損紀錄,過去半年尼康光刻機僅賣出 9 台,且幾乎全為成熟製程設備,遠遜於艾司摩爾同期高端 EUV 光刻機 160 台出貨量,反映出其在半導體核心戰場的全面潰敗。1980 年代,尼康曾同時稱霸專業相機與半導體光刻機兩大領域,壟斷全球光刻機市場半壁江山。2002 年成為命運轉折點,台積電資深處長林本堅帶著浸沒式光刻機方案敲開尼康大門,卻遭到拒絕。尼康高層質疑「水浸鏡頭」會污染精密光學系統,更不願放棄已投入 7 億美元的 157 奈米乾式光刻機研發。尼康高層甚至致電台積電要求「管好林本堅」,但這個被尼康拒於門外的創意,最終在艾司摩爾技術靈魂范登布林克手中開花結果。
2004 年問世的浸沒式光刻機橫掃市場,尼康從此失去高端市場主導權。受挫後的尼康將希望寄託於 EUV 極紫外光技術,時任技術掌舵人馬立稔和啟動「全自研、全日本產」計畫,獲得日本政府數百億日元支持,聯合佳能、東京電子等企業發起「產官學」攻關。艾司摩爾透過引入英特爾、三星、台積電戰略投資,整合德國蔡司鏡頭、美國 Cymer 光源等全球頂尖資源。兩次關鍵技術路線的選擇失誤,讓尼康墜入深淵。去年 9 月,尼康關閉營運 58 年的橫濱工廠,標誌著光刻機業務進一步萎縮。尼康的潰敗是日本產業「加拉帕戈斯化」的典型縮影:對自身技術實力的過度自信,對外部創新的排斥,以及全產業鏈閉環的執念,使其在科技變革浪潮中淪為孤島。
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