CoWoS (Chip-on-Wafer-on-Substrate) 是台積電的先進封裝技術,透過將晶片堆疊於晶圓上再封裝於基板上,以實現 2.5D 封裝。FOPLP (Fan-Out Panel Level Packaging) 是一種扇出型面板級封裝技術,這兩種技術近年來在半導體界備受關注。CoPoS (Chip-on-Panel-on-Substrate) 則是一種將 CoWoS 面板化的新趨勢,結合了 CoWoS 和 FOPLP 的概念,旨在追求更高的面積利用率和提升產能。
CoPoS 的核心概念是將 CoWoS 「面板化」,將晶片排列在方形的「面板 RDL 層」上,取代原先圓形的「矽中介層 (silicon interposer)」,透過「化圓為方」的方式,提升面積利用率與產能。傳統的 CoWoS 使用矽中介層,由於晶圓是圓形的,在切割成方形晶片後會產生邊角浪費,而 CoPoS 透過使用方形面板,能更有效地利用材料,減少浪費,從而提高整體面積利用率。
台積電的 CoWoS 先進封裝技術共有三種類型:CoWoS-S、CoWoS-R 和 CoWoS-L。它們的主要差別在於中介層使用的材料:
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