龍潭居民反對龍潭科學園區三期擴建案的主要原因是土地徵收爭議。居民強烈表達對土地的深厚情感和對家園的愛護，他們不希望因擴建案而失去土地和家園。自救會曾多次發起抗議活動，甚至向行政院和監察院陳情，要求撤回擴建計畫，充分展現了居民保護自身權益的決心。
面對居民的反對聲浪，台積電表示理解並尊重居民對土地的感情，最終決定放棄進駐龍潭園區三期。竹科管理局則表示將重新評估用地需求，積極聽取民意，盡可能兼顧民眾權益並調整擴建範圍。政府方面也指示相關單位與居民協調，研擬新的安置方案，並考慮縮小徵收範圍，試圖在開發與居民權益之間取得平衡。
台積電放棄龍潭園區三期擴建案後，將繼續評估台灣其他適合半導體建廠的用地，維持既有的擴廠步調。目前，中部及南部地區，如台中園區二期擴建、橋頭園區、台南園區三期擴建及楠梓園區等，都被視為可能的選項。各地方政府也積極爭取台積電進駐，希望藉此帶動地方經濟發展。
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