在決定落腳嘉義之前,台積電曾考慮過其他地點作為其 1.4 奈米廠的選項。其中,龍潭科學園區三期曾一度被認為是潛在的候選地點。然而,由於地方居民的反對聲浪,以及對土地徵收的爭議,台積電最終宣布不再考慮進駐龍潭園區三期。
2023 年 10 月,反龍潭科學園區第三期擴建案自救會前往行政院抗議,並向監察院陳情,要求竹科管理局撤回龍潭科學園區擴建計畫案。儘管竹科管理局表示,該擴建案籌設計畫仍在研擬規劃中,尚未正式函報上級機關核定,但台積電隨後發表聲明,表示尊重居民及主管機關的意見,不再考慮進駐龍潭園區三期。
最終,台積電選擇嘉義科學園區作為其 1.4 奈米廠的所在地。根據報導,台積電已向嘉義科學園區的南科管理局提出用地需求,其中的六成面積將成為 1 奈米建廠用地,剩下四成將留給先進封裝。嘉義科學園區的優勢包括綠電充足,以及正在計畫興建海水淡化廠,這些都有利於半導體產業的發展。立委蔡易餘也曾詢問國發會主委龔明鑫,台積電先進封裝廠在嘉義太保的科學園區設廠是否已就定位,龔明鑫則回應「對,沒有錯」,似乎暗示台積電落腳嘉義已成定局。
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