銳澤實業與工研院合作研發的「氣固粉塵分離設備」，採用主動式氣旋分離技術，旨在解決半導體製程中粉塵堆積於管壁的問題。這項技術有助於避免設備無預警當機，進而提高晶圓良率、生產效能，並降低設備維修成本。由於半導體製程對於潔淨度要求極高，粉塵的控制是確保生產品質的關鍵。
傳統的粉塵控制方法可能無法有效防止粉塵在管壁堆積，而銳澤的這項設備則能主動分離粉塵，降低其對製程的影響。透過減少設備當機的風險，有助於維持生產線的穩定運作，提高整體生產效率。此外，降低設備維修成本也能為半導體業者帶來經濟效益。
銳澤預計於明年3月前完成設備開發，並將到客戶端展示，尋求合作機會。這項設備的推出，有望為銳澤開創差異化的營收來源，並提升其在半導體供應鏈中的競爭力。隨著半導體產業對於製程良率與效率的要求不斷提高，這類粉塵分離設備的需求預計將持續成長。
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