銳澤實業與工研院合作開發的「氣固粉塵分離設備」主要功能在於利用主動式氣旋分離技術，高效地將氣體中的粉塵分離出來。此技術透過主動引導氣流形成旋轉，利用離心力使粉塵從氣體中分離，有效防止粉塵在管壁上堆積，降低設備故障風險。
相較於傳統的被動式過濾，主動式氣旋分離技術能夠顯著提高粉塵分離效率。傳統方法難以完全防止粉塵在管道內壁累積，而銳澤的設備通過主動產生氣旋，持續且有效地分離粉塵，減少其對半導體製程的負面影響。這種主動式的分離方式不僅提高設備可靠性，還有助於延長使用壽命，降低長期運營成本。
銳澤的氣固粉塵分離設備能減少設備無預警當機的風險，從而直接提升晶圓的良率和生產效能。在半導體製造過程中，即使是微小的粉塵污染也可能導致產品缺陷，因此有效的粉塵控制至關重要。此外，降低設備維修成本也能為半導體業者帶來顯著的經濟效益。銳澤預計在明年3月前完成設備開發，並尋求與客戶合作，顯示出對市場前景的樂觀態度。
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