半導體製程中的「清洗」步驟至關重要,因為它可以直接影響晶片的良率。在晶圓製造過程中,包括蝕刻、擴散、薄膜沉積、光刻和化學機械平坦化(CMP)等關鍵步驟前後,都會進行多次清洗。這些清洗步驟的主要目的是去除微粒、金屬和有機殘留物,以確保晶片的表面清潔度。若清洗不徹底,殘留的污染物可能會導致晶片缺陷,進而降低良率,甚至使晶片無法正常運作。隨著半導體技術不斷微縮和先進封裝技術的發展,清洗的難度和精度要求也日益提高,使得清洗步驟更加關鍵。
清洗步驟在晶圓製造中佔據約 30% 的流程,其對良率的影響不容忽視。污染控制已成為良率的生死線,尤其是在 2.5D/3D 先進封裝技術中,多個晶片通過中介層連接到基板上,晶片與中介層、中介層與基板之間的連接需要使用助焊劑。連接後產生的殘留物必須被徹底清洗掉,以避免影響晶片的性能和可靠性。若清洗不徹底,這些殘留物可能會導致電路短路、信號干擾等問題,進而降低晶片的良率。
花王(Kao)作為一家知名的化學與家庭日用品大廠,在半導體清洗領域也具備全球關鍵地位。花王的核心技術為「奈米界面控制技術」,可在物質界面進行奈米尺度的調控,提升狹小間隙與細微結構的洗淨效果。該技術包含「溶解」、「乳化/微粒化分散」和「降低附著力」等機制,目標是在不破壞被保護物的前提下,於奈米尺度徹底去除污染物,形成「精密界面」。花王提供 CMP 添加劑、TBDB(暫時固定材剝離用洗淨劑)和助焊劑洗淨劑等產品,其中助焊劑洗淨劑具有世界頂尖市佔率。為更好地服務客戶,花王將在台灣新竹設立海外首座化學品精密洗淨中心,專注於先進製程的洗淨工程協作與驗證,並提供從評估到解決的一站式方案。
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