微程式資訊如何透過AI物聯網（AIoT）技術，協助半導體業者察覺失效點？

微程式資訊如何運用AIoT技術協助半導體業者偵測失效點

微程式資訊透過在電子支付和智慧單車領域累積的經驗，成功將AI物聯網（AIoT）技術應用於半導體產業，協助業者偵測失效點並提高製程良率。董事長吳騰彥指出，儘管半導體產業對精確度要求更高，但其核心技術與過往經驗並無本質上的區別，皆可透過智慧感測與控制等技術實現。

技術轉移的具體應用

微程式資訊提供多種產品服務模式，包括銷售通用型儀器設備、改造客戶現有製程機台，以及客製化機台。其中，專利設計的「VibraSense Smart Blade」將感測器內置於機械手臂的牙叉，能靈敏地偵測機器運動和晶圓狀態，即使是輕微的刮痕也能透過邊緣端AI偵測到。此外，微程式還為生產線的複雜因素設計專用型設備，並提供蒐集與分析數據資料的軟體服務，協助半導體業者察覺失效點、提高製程良率。

與家登精密的合作及未來展望

微程式資訊與家登精密等公司共同成立控股公司德鑫半導體，透過半導體供應鏈聯盟建構出「信任圈」，催生創新應用產品。其中，與家登精密共同打造的極紫外光（EUV）光罩檢測儀便是其中一個案例。吳騰彥看好半導體感測控制將成為公司下一個成長動能，預計未來營收占比可提升至整體的三分之一。