尼康在 EUV 極紫外光技術的研發上,採取了哪些與 ASML 截然不同的策略? | 數位時代

EUV 技術路線的差異

尼康在研發 EUV 極紫外光技術時,採取了與艾司摩爾 (ASML) 截然不同的策略。尼康選擇了「全自研、全日本產」的模式,試圖依靠自身力量和日本國內的產業鏈來完成 EUV 光刻機的研發。為此,尼康獲得了日本政府數百億日元的資金支持,並聯合佳能、東京電子等企業發起「產官學」合作。

全球資源整合 vs. 閉門造車

與尼康不同,ASML 採取了開放合作的策略,通過引入英特爾、三星、台積電等戰略投資,整合了德國蔡司的鏡頭、美國 Cymer 的光源等全球頂尖資源。尼康因美國的技術封鎖被排除在 EUV 聯盟之外,這也導致尼康的 EUV 項目最終未能成功商業化。

策略差異導致的結果

尼康的「全自研」策略最終陷入了閉門造車的困境,投入了大量資金卻只產出無法商用的原型機,最終被迫終止商業化開發。而 ASML 憑藉其開放合作的策略,成功推出了 EUV 光刻機,並在高端市場上取得了領先地位。


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