石英爐管是半導體高溫製程中不可或缺的組件，然而，其材質特性使其在地震中極易受損，進而導致生產線停擺。石英爐管主要用於提供穩定的高溫反應空間、導入和控制製程氣體，並承載矽晶圓。由於半導體製程需要在高溫下長時間運行，石英材質因其耐高溫、化學穩定且不易釋放污染物的特性而成為首選。
石英爐管本質上是長條狀的玻璃製品，硬但脆。地震發生時，設備的晃動會對爐管造成拉扯、彎曲，或與金屬框架、夾具產生碰撞，導致裂紋甚至破裂。即使未完全破碎，微小的裂縫也會影響密封性，使顆粒和雜質進入，破壞熱場和氣體條件，最終導致整批晶圓報廢。因此，半導體廠通常會加強防震措施，如固定機台、增加支撐點和設置自動停機機制，以降低地震帶來的損害和污染風險。
強震可能導致晶圓廠內的石英爐管幾乎全數震碎，產線隨之停擺。快速調度貨源、確保電力供應成為震後恢復生產的關鍵。崇越科技前董事長郭智輝指出，震後復工的重點在於迅速調貨和維持供電。921地震時，崇越緊急從海外調貨，協助台積電在約86小時內恢復生產，凸顯了石英爐管供應鏈的重要性。力積電也表示，石英相關設備與材料受影響，復原時程取決於石英爐管的備料與安裝校正，可能導致部分產線暫停與交期延後。有報導指出，位於桃園的記憶體大廠也傳出石英爐管震損，在製晶圓破損需報廢，估計需要3至5天才能完全恢復。
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