QST 基板技術如何改善氮化鎵磊晶層的晶圓翹曲問題？

Question

QST 基板技術如何改善氮化鎵磊晶層的晶圓翹曲問題

Accepted Answer

QST（Qromis Substrate Technology）基板技術透過與氮化鎵（GaN）磊晶層更佳的熱膨脹係數（CTE）匹配性，有效改善晶圓翹曲問題。世界先進（VIS）選擇 QST 基板而非碳化矽（SiC）基板，主要考量到 QST 基板在降低晶圓翹曲方面的優勢，這對於高功率密度電子元件的量產至關重要。

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