明遠精密與京三共同研發的ACME高效節能射頻電源系統於2019年通過晶圓代工大廠認證後,成為製程標準機台配置。這項認證代表ACME設備在效能與穩定性上獲得了業界領先廠商的肯定,有助於提升其在半導體製程中的應用普及度。
ACME設備的最大節能效果可達68.7%,這對於半導體廠的設備汰舊換新具有顯著吸引力。截至2024年底,明遠精密已出貨251套ACME設備,這些設備為客戶節省的碳排放量相當於28座大安森林公園的吸碳量。這顯示ACME設備在實際應用中對於降低半導體廠的碳足跡有積極影響,符合當前半導體產業對於節能減碳的趨勢。
明遠精密不僅專注於ACME設備的研發與銷售,還提供半導體設備的技術服務,包括臭氧產生器、遠程電漿源等設備的維修。該公司於2024年11月掛牌上櫃,並積極擴展海外市場,例如在日本熊本成立子公司,以更貼近客戶需求。這些舉措顯示明遠精密在半導體設備領域的持續發展與市場擴張策略。
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