衡陞科技與卡爾蔡司(ZEISS)的合作，對全球半導體產業有哪些獨特解決方案？

衡陞科技與卡爾蔡司合作的獨特半導體解決方案

衡陞科技與卡爾蔡司（ZEISS）的合作，旨在透過衡陞的奈米探針技術，為全球半導體產業提供獨特的解決方案。衡陞科技受蔡司邀請於台灣國際半導體展SEMICON期間，於蔡司攤位提供產品與技術諮詢服務。衡陞科技專精於奈米探針（Nano Probing）的開發與應用，透過其產品與量測技術，協助半導體客戶在先進製程開發與良率提升上取得突破。

衡陞科技奈米探針的重要性與技術優勢

奈米探針附著於探針卡上，透過自動化方式接觸晶圓上的銲墊（Pad）或凸塊（Bump），將電信傳送到檢測機台進行分析，以篩選出不良品，從而減少成本浪費。衡陞科技於2013年開始提供當時業界最為先進的10奈米探針，用於14奈米製程的故障分析，目前2至5奈米探針也已獲得客戶廣泛採用，還成功開發多款1奈米以下探針。這些探針主要用於對即將進入量產的晶片進行故障分析，以改善製程良率，其客戶涵蓋全球前三大半導體廠。

衡陞科技的「埃米級」探針與未來發展

衡陞科技董事長黃信豪專研物理及材料領域數十年，於2022年成功開發出7Å（埃米）以及5Å（埃米）等級探針，用於測量1奈米以下的製程，精度極高。隨著先進製程不斷演進，預計2025年將邁入2奈米製程，並全面改為GAA（Gate All Around）架構，這將大幅提升故障分析的難度。衡陞科技指出，GAA架構下的生產良率提升將是晶圓代工廠的首要任務，這將驅動製程產生大量的分析需求，使得奈米探針的應用從實驗室轉向製程中。衡陞科技利用其故障分析量測技術，整合德國製造工藝，建置自有品牌「Nano e」，並搭配自家的奈米探針，持續協助客戶在先進製程開發上取得突破。