衡陞科技的「Nano e」品牌與其奈米探針技術，如何整合協助客戶突破先進製程開發？

衡陞科技「Nano e」品牌與奈米探針技術在先進製程開發中的整合應用

衡陞科技的「Nano e」品牌，結合其尖端的奈米探針技術，旨在協助客戶突破先進製程開發的瓶頸。透過與卡爾蔡司（ZEISS）的合作，衡陞科技不僅在台灣國際半導體展SEMICON期間展示其技術實力，更進一步鞏固了其在半導體產業中的地位。衡陞科技專注於奈米探針的開發與應用，致力於透過其產品與量測技術，協助半導體客戶在先進製程開發與良率提升方面實現突破。

衡陞科技奈米探針的技術優勢與重要性

奈米探針作為探針卡上的關鍵組件，透過自動化方式精確接觸晶圓上的銲墊或凸塊，將電訊傳送至檢測機台進行分析，從而有效篩選出不良品，降低成本浪費。衡陞科技自2013年起便提供當時業界最先進的10奈米探針，用於14奈米製程的故障分析。目前，其2至5奈米探針已獲得客戶廣泛採用，並成功開發出多款1奈米以下的探針。這些探針主要應用於對即將進入量產的晶片進行故障分析，以提升製程良率，其客戶涵蓋全球前三大半導體廠。

「埃米級」探針與未來發展趨勢

衡陞科技董事長黃信豪帶領團隊於2022年成功開發出7Å（埃米）以及5Å（埃米）等級探針，可用於測量1奈米以下的製程，精度極高。隨著先進製程不斷演進，預計2025年將邁入2奈米製程，並全面改為GAA（Gate All Around）架構，這將大幅提升故障分析的難度。衡陞科技指出，GAA架構下的生產良率提升將是晶圓代工廠的首要任務，進而驅動製程產生大量的分析需求，使奈米探針的應用從實驗室轉向製程中。衡陞科技正利用其故障分析量測技術，整合德國製造工藝，打造自有品牌「Nano e」，並搭配自家的奈米探針，持續協助客戶在先進製程開發上取得關鍵性的突破。