氣體二次配在半導體製程中扮演什麼角色？

氣體二次配在半導體製程中的角色

氣體在半導體製造中扮演關鍵角色，主要分為「動力」和「原料」兩大類。動力方面，例如乾燥空氣用於驅動機器，高純度氮氣用於清潔反應槽。原料方面，晶片製作過程需要上百種氣體進行化學反應，如蝕刻、離子植入等製程。

氣體二次配的定義與重要性

「氣體二次配」是指將設備連接到主系統的管線接口，如同「使用延長線將電腦連接到辦公室插座」。相較於工廠建設初期規劃建置的氣體供應主系統（一次配），二次配工程量大且複雜度高，一台設備可能有上百個接口。由於對半導體製程熟悉者可從氣體種類推測廠房業主的設備和製程，涉及商業機密，因此施工細節需高度保密，考驗供應商的應變能力。

台灣氣體二次配產業現況

台灣的氣體二次配供應商包括銳澤實業、漢唐轉投資的漢科系統，以及聚賢研發等，屬於寡占市場。台灣半導體業持續擴廠，為供應商提供獨特的鍛鍊機會，相較於國外廠商，台廠擁有豐富的經驗值和效率。在聖暉集團中，銳澤專攻氣體二次配，與母公司聖暉工程及朋億等夥伴合作，共同拓展海外市場。銳澤還與工研院合作研發「氣固粉塵分離設備」，以提高晶圓良率和生產效能。