工研院產科國際所經理張致吉認為，半導體製程發展對TMAH回收有何影響？

半導體製程發展對 TMAH 回收的影響 (工研院產科國際所經理張致吉的觀點)

工研院產科國際所經理張致吉指出，隨著半導體製程技術不斷朝向更小的奈米製程發展，化學品的需求也隨之改變。具體來說，先進製程需要濃度更高、純度更佳的化學品，這直接影響了四甲基氫氧化銨（TMAH）的回收。由於製程要求的提升，TMAH 與其他化學品（如廢硫酸）的回收需求量預計將持續增加。這也意味著，TMAH 回收技術必須不斷精進，以滿足半導體產業對化學品品質的嚴格要求。

TMAH 回收的重要性與趨勢

TMAH 作為半導體和面板製程中常用的顯影劑，其回收再利用不僅具有環境意義，也具備經濟效益。透過回收 TMAH，企業能夠節省用水、降低廢水處理成本，並減少對環境的影響。隨著台積電、群創等大廠對 ESG（環境、社會、公司治理）的日益重視，與三福化工等廠商合作進行廢液回收已成為趨勢。這種合作模式不僅能讓客戶受益，還能將回收的 TMAH 重新利用，創造額外價值。

三福化工的策略轉型與挑戰

三福化工從傳統的化學原料生產轉向化學品回收，特別是 TMAH 的回收，對公司營運產生了積極影響。這項策略轉變不僅開闢了新的營收來源，還提升了公司在環境永續領域的競爭力。然而，為了滿足半導體產業對化學品純度的高要求，三福化工需要不斷提升回收 TMAH 的純度，使其達到半導體等級。同時，公司也積極研發其他化學品的回收技術，如蝕刻液，以擴大循環經濟的應用範圍，並鞏固其在化學品回收領域的領導地位。