地震如何影響石英爐管的破損，進而導致半導體產線停擺？

Question

地震對石英爐管的影響與半導體產線停擺

Accepted Answer

石英爐管是半導體高溫製程中不可或缺的組件，然而，其材質特性使其在地震中極易受損，進而導致生產線停擺。石英爐管主要用於提供穩定的高溫反應空間、導入和控制製程氣體，並承載矽晶圓。由於半導體製程需要在高溫下長時間運行，石英材質因其耐高溫、化學穩定且不易釋放污染物的特性而成為首選。